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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
复合式分子泵由螺纹分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大、压缩比高,也具有牵引泵高压强时抽速大、压缩比高的特点,扩展了分子泵的应用范围。其广泛应用与光伏、照明、宇航、半导体、能源、激光、电子、军工、汽车等各个领域。
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