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本系列是由无油爪泵和无油分子真空泵串联而成,结合了两种泵的优点,结构紧凑,运行可靠。本单位是国内唯一家具有干式分子泵机组的厂家。由于分子泵启动条件比较严格,对前级泵的极限真空度要求比较苛刻,必须在干泵真空度抽到<10Pa后,分子泵才可以启动,这样可以获得较高的真空度。广泛用于:真空实验室等特殊无油高空度环境。用无油爪泵做前级泵,对被抽环境无污染,无返油,维护周期长,且能维持长期稳定的极限压力。
干式分子机组ZYFJ技术参数表:
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